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技術文章

適用于大學基礎實驗的立式實驗反應釜設備介紹

適用于大學基礎實驗的立式實驗反應釜設備介紹

TVF-110
立式實驗反應釜 最高1200°C

低成本 低要求配置(手動控制) 可用作管式爐、擴散爐和熱 CVD

罐式加熱器

最高1200°C



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適用于從小樣品到3英寸晶圓的小基板 基座 手動升降式立式實驗爐用于基礎實驗的低成本立式爐 非常適合大學和企業(yè)實驗室的基礎實驗。

特征

  • 用戶友好,易于手動操作

  • 配置簡單,是基本實驗室應用的理想選擇

  • 可以以低成本和低的必要規(guī)格提出設備

  • 我們可以根據(jù)要求定制。

設備配置

  • 爐體(石英部件,如基座、舟、緩沖器等,包括垂直升降機構)

  • 熱電偶

  • 溫度控制單元

  • 支架

原理圖規(guī)格

【電爐部分】規(guī)范
最高工作溫度MAX1200°C (*加熱器最高溫度) 電路板溫度 950°C
加熱器罐式加熱器1區(qū)式1.5KW
爐體陶瓷成型品 Φ290 x 300L(分成兩半)
帶開合功能的鋁制外殼
熱電偶2對K型護套熱電偶,用于控制和超溫檢測
溫度測量熱電偶Φ0.65mm K帶線型絕緣管1500L
溫度控制PID溫度控制器晶閘管控制


【爐芯管及石英夾具部】規(guī)范
爐芯管Φ100 x Φ95 x 470L
緩沖區(qū)234H x Φ86 屏蔽板 x 2 層
基座Φ86 x t5mm (帶上下桿) x 2-3級
熱電偶保護管Φ8 x Φ6 x 660L mm


【基座底座法蘭上下升降部分】規(guī)范
驅(qū)動系統(tǒng)手動(旋轉手柄)
中風MAX300mm (基座) MAX500mm (基座法蘭),
帶停止位置刻度,帶可選垂直停止位置鉗位鉗位器


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