日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
產(chǎn)品名稱: 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
產(chǎn)品型號(hào): TVF-110
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐,適用于小至3英寸晶圓的小基板cost低成本醉低要求的配置(手動(dòng)控制)適用于管式爐,擴(kuò)散爐,熱CVD。主要用途小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用半導(dǎo)體,太陽能電池,燃料電池,電子基板等的熱處理基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn):用于氧化擴(kuò)散爐,LPCVD等的簡(jiǎn)單熱處理實(shí)驗(yàn)。
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆 的詳細(xì)介紹
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐,適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置(手動(dòng)控制)適用于管式爐,擴(kuò)散爐,熱CVD。
主要用途
小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用
半導(dǎo)體,太陽能電池,燃料電池,電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn):用于氧化擴(kuò)散爐,LPCVD等的簡(jiǎn)單熱處理實(shí)驗(yàn)。
特性- 用戶友好,易于手動(dòng)操作
- 簡(jiǎn)單的配置非常適合基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
- 我們可以提供低成本和醉低要求規(guī)格的設(shè)備。
- 可以根據(jù)要求添加功能,我們將每次定制。
- *作為標(biāo)準(zhǔn)配置,只有爐體(包括基座和垂直升降機(jī)構(gòu))和溫度控制單元可用。
- *不包括氣體引入/排出系統(tǒng),氣體壓力控制,冷卻水控制等。我們將根據(jù)要求添加它。
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| 主要規(guī)格 [電爐部分] 醉高工作溫度 | 醉高1200℃(*加熱器溫度,正常醉高1100℃)醉高950℃(板溫) | 加熱器 | 地暖1區(qū)1.5KW | 爐 | 陶瓷成型品Φ290x 300L(分體式) | 案件 | 鋁殼開合式 | 熱電偶 | 用于控制,過熱檢測(cè):K型護(hù)套熱電偶(2對(duì)) | 溫度測(cè)量用熱電偶 | Φ0.65mmK線型帶絕緣管1500L | 溫度控制 | PID溫度控制器可控硅控制 |
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| [爐芯管/石英夾具部分] 芯管 | Φ100xΦ95x 470L毫米 | 緩沖 | 234H xΦ86屏蔽x 2層 | 感受器 | Φ86x t5毫米(帶上下桿)x 2至3步 | 熱電偶保護(hù)管 | Φ8xΦ6x 660L毫米 |
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| [基座/底座法蘭向上/向下] 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 手動(dòng)型(旋轉(zhuǎn)手柄) | 中風(fēng) | Max300mm(基座)Max500mm(基礎(chǔ)法蘭)帶限位器,帶有任意垂直限位器 |
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| 外型尺寸 |
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆