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產(chǎn)品資料
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日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品名稱: 日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào): VE-2012
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng)
VE-2012是一種簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng),它繼承了VE-2030(由我們公司制造)的概念。

日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng) 的詳細(xì)介紹

日本shinkuu真空簡(jiǎn)單的真空氣相沉積系統(tǒng)

 

通過(guò)在外殼中內(nèi)置TMP來(lái)實(shí)現(xiàn)緊湊的外殼。由于它是臺(tái)式機(jī)類(lèi)型,因此不會(huì)占用空間。RP被放置在地板上。
我們以低價(jià)提供帶有小TMP + RP排氣系統(tǒng)的清潔,高真空氣相沉積設(shè)備。一個(gè)簡(jiǎn)單的操作系統(tǒng),消除了復(fù)雜的排氣操作,僅打開(kāi)和關(guān)閉開(kāi)關(guān)。
可以使用鎢筐沉積金,鋁,鉻,銀等。對(duì)于碳?xì)庀喑练e,使用了一種鉗式氣相沉積槍型,它會(huì)隨著碳的蒸發(fā)而蒸發(fā)鋒利的鉛筆型替換芯。(不能使用Φ5mm碳棒。)

購(gòu)買(mǎi)時(shí),我們將選擇碳?xì)庀喑练e電極或金屬氣相沉積電極??梢赃x擇購(gòu)買(mǎi)其他電極。

碳蒸鍍電極

Φ0.5mm碳蒸鍍電極,僅用于碳。
它能夠在高真真空區(qū)中沉積碳,并且可以形成具有優(yōu)異膜質(zhì)量和膜強(qiáng)度的碳膜。
附帶的防污蓋可醉大程度地減少碳蒸氣沉積的擴(kuò)散范圍,并減少清潔負(fù)擔(dān)。
建議使用碳SLC-30作為碳?xì)庀喑练e源。

金屬氣相

沉積電極這是專門(mén)用于鎢筐的金屬氣相沉積電極。
可以輕松地沉積金,鋁,鉻等。隨附的防污罩可醉大程度地減少氣相沉積范圍,并減少清潔負(fù)擔(dān)。

主要產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目規(guī)范
電源AC100V(單相100V15A)
裝置尺寸寬400毫米,深425毫米,高546毫米
(設(shè)備重量25千克)
旋轉(zhuǎn)泵(外部)排氣速度50?/ min(G-50DA)
(重量11kg)
渦輪泵(內(nèi)置裝置)排氣速度67?/秒
樣品臺(tái)直徑72毫米
沉積源-樣品臺(tái)間距可在0毫米至140毫米范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

關(guān)于選項(xiàng)

選配

2018.11.01

選配

對(duì)于氣相沉積設(shè)備,我們?yōu)楦鞣N實(shí)驗(yàn)應(yīng)用提供大量選擇。此選項(xiàng)是一個(gè)正常的示例。我們也接受根據(jù)客戶所需規(guī)格的修改,因此請(qǐng)與我們聯(lián)系。VE-2012 ...

 

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