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技術(shù)文章

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機SC-708系列


特征

  • 大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備

  • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸，例如 4'/5'/6'/7'/8'。

  • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時支持 PDMS 表面處理

  • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 反光膜制作應(yīng)用

  • 樣品表面親水化處理應(yīng)用（蝕刻方式）

  • PDMS表面處理應(yīng)用（蝕刻模式）等



基本規(guī)格

陰極φ4-8英寸/2極對向電極
濺射電流
蝕刻電流		0-50mA（包括電流表）
濺射電壓
蝕刻電壓		0.8 / 1.4kV
氣體引入機制針閥
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：100l/min（帶自動漏氣）
腔室尺寸內(nèi)徑φ240mm x D240mm（SUS制）
樣品交換方式前門開閉式
樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
尺寸（寬/深/高）主體：282/450 / 440mm
RP：460/175 / 265mm
重量身體：約20kg
RP：23kg





特殊規(guī)格示例

SC-704AT
SC-704AT
膜厚可控全自動機型
SC-704MC
SC-704MC
磁控陰極采用型號
（無蝕刻/交流濺射功能）
聯(lián)系人：林經(jīng)理
地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
Email：akiyama_linkkk@163.com
郵編：
QQ：909879999

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