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技術(shù)文章

日本dnk用于實(shí)驗(yàn)和研究的手動(dòng)批量曝光機(jī)MA-1200技術(shù)介紹

日本dnk用于實(shí)驗(yàn)和研究的手動(dòng)批量曝光機(jī)MA-1200技術(shù)介紹

MA-1200,MA-1400

  • 這是一臺(tái)用于實(shí)驗(yàn)和研究的手動(dòng)批量曝光機(jī),支持玻璃,晶圓,薄膜等。小批量生產(chǎn)的理想選擇。
  • 可以選擇接觸曝光(軟/硬)和接近曝光。
  • 支持大500 mm x 500 mm的板。配備了光學(xué)系統(tǒng),可根據(jù)應(yīng)用和板子尺寸將超高壓汞燈(500W,1kW,2kW,3.5kW)與各種鏡子,特殊透鏡,聚光鏡等??進(jìn)行z佳組合。

MA-1200A

  • 手動(dòng)批量曝光機(jī)非常適合于高混合,小批量生產(chǎn),實(shí)驗(yàn)和研究,并且可以進(jìn)行穩(wěn)定的自動(dòng)間隙控制。

  • 通過減少占用空間實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。??


MA-1200

MA-1400

面板尺寸

大200 x
200mmø4“?ø6”

高達(dá)400 x 400mm

光源

超高壓汞燈:500W或1kW

超高壓汞燈:2kW或3.5kW

尺寸和重量

車身尺寸

寬12x深1100 x高1725毫米

寬1440 x深1590 x高1882毫米

 

體重

400公斤

400kg(包括干凈的圍欄)

 

光源重量

--

250公斤

選項(xiàng)

支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對(duì)準(zhǔn),硬接觸(真空接觸類型),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),破裂的基板(需要咨詢)


MA-1200A

晶圓尺寸

ø2“?ø6”

光源

超高壓汞燈:500W或1kW

尺寸和重量

車身尺寸

寬850 x深1150 x高1665毫米

重量

400公斤

選項(xiàng)

背面對(duì)齊,自動(dòng)對(duì)齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持(需要咨詢)

MA-1200MA-1400
面板尺寸大200 x
200mmø4“?ø6”
高達(dá)400 x 400mm
光源超高壓汞燈:500W或1kW超高壓汞燈:2kW或3.5kW
尺寸和重量車身尺寸寬12x深1100 x高1725毫米寬1440 x深1590 x高1882毫米
體重400公斤400kg(包括干凈的圍欄)
光源重量--250公斤
選項(xiàng)支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對(duì)準(zhǔn),硬接觸(真空接觸類型),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),破裂的基板(需要咨詢)
MA-1200MA-1400
面板尺寸大200 x
200mmø4“?ø6”
高達(dá)400 x 400mm
光源超高壓汞燈:500W或1kW超高壓汞燈:2kW或3.5kW
尺寸和重量車身尺寸寬12x深1100 x高1725毫米寬1440 x深1590 x高1882毫米
體重400公斤400kg(包括干凈的圍欄)
光源重量--250公斤
選項(xiàng)支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對(duì)準(zhǔn),硬接觸(真空接觸類型),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),破裂的基板(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。

 MA-1200A
晶圓尺寸ø2“?ø6”
光源超高壓汞燈:500W或1kW
尺寸和重量車身尺寸寬850 x深1150 x高1665毫米
重量400公斤
選項(xiàng)背面對(duì)齊,自動(dòng)對(duì)齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。

MA-1200MA-1400
面板尺寸大200 x
200mmø4“?ø6”
高達(dá)400 x 400mm
光源超高壓汞燈:500W或1kW超高壓汞燈:2kW或3.5kW
尺寸和重量車身尺寸寬12x深1100 x高1725毫米寬1440 x深1590 x高1882毫米
體重400公斤400kg(包括干凈的圍欄)
光源重量--250公斤
選項(xiàng)支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對(duì)準(zhǔn),硬接觸(真空接觸類型),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),破裂的基板(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。

 MA-1200A
晶圓尺寸ø2“?ø6”
光源超高壓汞燈:500W或1kW
尺寸和重量車身尺寸寬850 x深1150 x高1665毫米
重量400公斤
選項(xiàng)背面對(duì)齊,自動(dòng)對(duì)齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。

MA-1200MA-1400
面板尺寸大200 x
200mmø4“?ø6”
高達(dá)400 x 400mm
光源超高壓汞燈:500W或1kW超高壓汞燈:2kW或3.5kW
尺寸和重量車身尺寸寬12x深1100 x高1725毫米寬1440 x深1590 x高1882毫米
體重400公斤400kg(包括干凈的圍欄)
光源重量--250公斤
選項(xiàng)支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對(duì)準(zhǔn),硬接觸(真空接觸類型),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),破裂的基板(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。

 MA-1200A
晶圓尺寸ø2“?ø6”
光源超高壓汞燈:500W或1kW
尺寸和重量車身尺寸寬850 x深1150 x高1665毫米
重量400公斤
選項(xiàng)背面對(duì)齊,自動(dòng)對(duì)齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持(需要咨詢)

*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。

聯(lián)系人:林經(jīng)理
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