什么是OMD-1000?
這是一臺光譜膜厚監(jiān)測儀,用于監(jiān)測在用單色光進(jìn)行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中,并作為膜厚監(jiān)測設(shè)備完成,該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。
全波長范圍
在傳統(tǒng)型號中,波長選擇是濾光片類型,但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們久經(jīng)考驗(yàn)的光譜儀,現(xiàn)在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出,控制機(jī)制是從手動操作到個人計(jì)算機(jī)的命令控制。此外,通過將薄膜厚度計(jì)主體通過I / F直接連接到個人計(jì)算機(jī)來控制其厚度成為可能,這是一個非常緊湊的系統(tǒng),無需像其他制造商那樣的控制器。
特征
車身配置和接線
產(chǎn)品概要
它連接到氣相沉積設(shè)備上,以監(jiān)控薄膜厚度??梢匀缬覉D所示進(jìn)行安裝。
反射型監(jiān)視
透射式監(jiān)控
(彎曲探照燈)
透射式監(jiān)控
(直接連接到泛光燈)
商品構(gòu)成
接收者
泛光燈
電源箱
高架法蘭
*包含在反光鏡盒中
反光鏡盒
透射鏡盒
型式 | OMD-1000 |
光譜儀類型 | Zellny Turner類型單單色 |
波長范圍 | 保證范圍:380至900 nm可操作 范圍:350至1100 nm |
波長分解能 | 狹縫0.5mm:4.2nm [546nm] 狹縫1.0mm:8.3nm [546nm] |
波長精度 | ±1.0納米 |
小波長進(jìn)給 | 0.1納米 |
外部控制 | RS232C |
外部輸出端子 | DC0-2V(滿量程) |
采樣間隔 | 100ms以上 |
靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/td> | ±5kV(實(shí)際8kV) |
光源 | 12V100W鹵素?zé)?/td> |
光強(qiáng)度穩(wěn)定性 | ±0.1%/h 以下 |
輸入電壓 | AC100V 50/60赫茲 |
允許輸入電壓 | AC85?132V |
視在功率 | 340VA以下 |
使用環(huán)境 | 溫度 10~35℃ 濕度 20~80% |
*請注意,產(chǎn)品規(guī)格和外觀如有更改,恕不另行通知。
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